光刻胶薄膜颜色异常汇总

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一、光刻胶薄膜的“颜色异常（Discolor）问题

在半导体制造领域，光刻胶薄膜的颜色异常习惯上称 PR Discolor，也就是光阻异色。由于噪声等问题，KLA不太容易扫到这种缺陷，所以这部分缺陷大部分情况都靠光镜目检，晶圆利剑一样的“黄色反光”真的会让你“乱花渐欲迷人眼”，看到还好，可是大部分情况，都是不容易看到的，在光学显微镜下，这类缺陷难以区分，是光刻领域最令工程师头疼的问题，叫它光刻工程师的杀手，一点也不过分吧。

从形貌分布特征来看，一般表现为“条纹状”，它的分布一般多容易出现在晶圆边缘，这点情况跟Poor Coating是类似的，Poor Coating必然是光阻discolor，这里的含义细细体会，只是从不同角度的描述。如上图所示，我挑选了极为明显的照片来描述PR Discolor，但在实际中是很不明显的。

二、光阻的“颜色异常（Discolor）”如何造成？

总之，围绕着造成膜厚异常展开分析即可，我总结了以下几点常见原因：

1）喷涂光阻的Nozzle污染，导致光刻胶涂布异常；

2）RRC异常，导致光刻胶被稀释；

3）EBR反溅导致膜厚异常；

4）热板烘烤条件不当、热分布不均匀，造成薄膜变形；

5）显影条件不当，造成光刻胶流膜异常。

以上：总结了比较多的内容，红色字体为不成熟制程，工艺开发阶段所遇，黑色字体为量产常见内容。

注意：RRC跟EBR很多朋友可能会有疑问，RRC(reduce resist coating)EBR(Edge bead remove)，看英文意思就行，一般情况下装的药液是EBR7030，或者也叫ok73。

三、光阻的“颜色异常（Discolor）”如何处理？

1）检查光阻喷嘴喷淋状态，并进行清洗动作（check PR Nozzle dispense condition and clean nozzle ）;

2）检查EBR跟RRC喷嘴状态，并进行清洗（check EBR and RRC Nozzle

condition and clean）。