Supermicro的数据中心构建模块解决方案 （DCBBS）发布

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第一部分 热板速度控制调节（the speed controller adjusting）

我想以三个问题开始今天内容：

第一个问题—热板要调哪几个速度？

热板中要调整的速度控制器有两个部分。第一是3pin的升降速度（或者升降时间）；第二是调节shutter开合速度（打开与关闭的时间），shutter是晶圆进入热板腔时的阀门。做个比喻就——进入房间时，要推开的那扇门就是shutter。

第二个问题是为什么要调节热板控制器的速度？

每一气缸的UP/DOWN操作都设定指定的速度。如果每一操作速度快于指定速度，则在搬送晶圆时，可能发生晶圆移动或其他问题，而对于晶圆处理造成不利影响。如果操作速度慢于指定速度，则无法在设备控制器所控制的搬运时间内完成操作。

第三，速度控制器的参数设置为多少？提供几个参考数据。

                 up time             down time

3pin       1.3+-0.2sec         1.0+-0.2sec

shutter   1.3+-0.2sec         1.3+-0.2sec

好，这三个问题是关于热板speed controller的核心要点。

第二部分 如何调整这几个速度？

如之前文章所叙述，所有维护动作，刚开始的动作都一致，所以到此为止，不管专业性的知识如何，最最最重要的动作是，关闭电源，确保热板状况，放置警示牌，这些是什么，安全！

首先机台进入维护界面（recovery system turn on）→电源interlock互锁，电源状态处于安全→放置机台警示牌→记录热板状态，并确保热板回复至室温状态→将热板的一些模块拆下来（包括热板的一些电器模块，盖板等，业界常叫 electric device、cover等，其实这些词语强行翻译可能看不太懂）→进行调节,下图为东京某电调节时间界面

（某工具speed controller operation screen）

进入调整阶段，顺时针clockwise降低速度，逆时针提高速度，看下图mark（1）、（2）的螺丝为调整螺丝；调整好速度之后，拧紧防松螺母，也是下图中标记1），2）的螺母→重新检查确认一下设定时间/速度是否一致→到此为止基本上已经调节完成接下来就是进行一些复位工作了（电磁阀stop，看上图、一些之前已经拆下来的电器模块、盖子、一些面板等复位安装）→机台cancel维护模式→电源interlock互锁调为工作模式→清除一些热板报警→设置热板的温度为此时实际温度→警示牌移除。

（左侧mark label标着，pin or shutter down or up，调节相关的螺丝控制它们的速度）

到此为止完成了热板pin/shutter速度的调节，有以下几点需要注意：

1）热板种类很多，CPHP,LTHP,PHP等很多，但本质上就是热板，基本的结构与功能基本上是一致的，它最底层的逻辑是均匀、精确地加热，这几个字仔细体会，每个字都重要。

2）hot plate pin shutter speed adjusting，几个基本的步骤，第一是拆除一些热板的装置，第二是调节过程，第三是拆卸部件安装过程。

3）调节过程，调节对应螺母，观察显示板上达到设定速度即可。

4）图示螺丝解释一下，调整螺丝与锁紧螺丝在一起。

5）热板虽小，五脏俱全，控制器，检测器，马达气缸等样样具备。小编以前文章中曾经说过，track中最简单的是热板，这点不假，但从不同的角度来看，结果是不一样的。热板做到精细控制，均匀控制，是非常具有挑战性的，各大友商，是否认同呢？