Track热板调节-3pin水平调节

hdy

一、3-pin如何调平？1.1、为什么调3pin？如果3pin非水平状态，首先会影响晶圆与机械手臂之间传送，影响robot对晶圆的抓取；另外一方面，是3pin非水平状态会影响晶圆热分布状态，如此前所述。

（热板3pin与水平仪检测水平）1.2、3-pin调平步骤

进入机台维护系统→机台摆放维护标识→观察热板温度设置，确保安全并记录热板数据→关闭电源→拆除PRB盖板（机台后面的大金属盖子）→拆下热板的正面盖子（front cover）→用尺子量一下热板表面到每个pin的高度，是否达到标准，如果不是→拆下热板模块，放到工作台上（一种专用的工作台）→将晶圆放在3pin上，并将水平仪（level）放到晶圆中心，观察气泡是否处于中心位置，是否符合spec，如果不是→拆下热板底部的盖子（底部cover），调节调平螺丝，直到达到水平要求→然后再将热板安装回去。

注意地方：1）不同的机台规定pin的高度有差异，TEL部分机台设置为18mm，其他厂商机台有的为25mm，一般spec +-0.5mm；2）3pin调节的思路为，量取pin高度→拆下热板模块测量3pin水平→调平螺丝调节水平→安装（关键词：量高度，调水平）

（调整pin的高度）